Метокси пропаноли етиленгликол етер принадлежат към бинарни алкохолни етерни разтворители, които са безцветни и прозрачни течности. Токсичността на пропиленгликоловия етер за човешкото тяло е по-ниска от тази на продуктите от етиленгликолов етер и принадлежи към нискотоксичните етери. Пропилен гликол метиловият етер има слаб мирис на етер, но няма силна остра миризма, което го прави по-широко използван и безопасен. Тъй като неговата молекулярна структура съдържа както етерна група, така и хидроксилна група, той има отлична разтворимост, подходяща скорост на изпаряване и реакционна активност и е широко използван. Използва се главно като отличен разтворител за нитроцелулоза, алкидна смола и фенолна смола, модифицирана с малеинов анхидрид, като антифриз за реактивно гориво и добавка за спирачна течност; Използва се главно като разтворител, дисперсант и разредител, а също и като антифриз за гориво и екстрагент.
|
Химическа формула |
C4H10O2 |
|
Точна маса |
90 |
|
Молекулно тегло |
90 |
|
m/z |
90 (100.0%), 91 (4.3%) |
|
Елементен анализ |
C, 53.31; H, 11.18; O, 35.51 |
|
|
|
Методът на приготвяне наМетоксипропанол(обикновено по-точно наричан пропилей гликол монометилов етер) се описва, както следва:
(1) Подготовка на суровината:
Получаване на епихлорохидрин и метанол като реагенти.
Пригответе катализатор, който е инфузорна пръст, вградена с железен хлорид. Сред тях теглото на железния хлорид е 2% от теглото на епихлорохидрина.
(2) Настройки на устройството:
Изберете контейнер, подходящ за високо-налягане и реакции при висока-температура, като например реактор с високо-налягане.
Настройте система за контрол на температурата и налягането за реакционния съд, за да осигурите прецизен контрол на реакционната температура и налягане.
(1) Смесване на суровини:
Смесете равномерно епоксиден пропан и метанол в моларно съотношение 1:3.
(2) Добавяне на катализатор:
Добавете приготвения катализатор диатомитна пръст, вграден с железен хлорид към реакционната смес.
(3) Реакция на нагряване:
Загрейте реакционната смес до 190 градуса.
Поддържайте реакционното налягане на 1,5 MPa (или 1500 kPa).
Времето за реакция е 50 минути.
Вакуумна дестилация: След завършване на реакцията, реакционната смес се подлага на вакуумна дестилация за отделяне на пропилей гликол монометилов етер.
Дестилацията с намалено налягане спомага за понижаване на температурата на дестилация, като по този начин намалява разлагането на термочувствителните продукти.
(1) Определяне на добива: Добивът на пропилей гликол монометилов етер се определя чрез претегляне или други подходящи методи и добивът е 98,2%.
(2) Тестване за чистота: Използвайте хроматография или други аналитични техники, за да тествате чистотата на продукта и да получите чистота от 99,1%.
Приложението наМетоксипропанол(известен също като 1-метокси-2-пропанол, съкратено като PGME) в полупроводниковия фоторезист е важна и специализирана област сред многото му приложения. Фоторезистът е незаменим материал в процеса на производство на полупроводници, използван главно за микропроизводство на интегрални схеми и полупроводникови дискретни устройства. Освен това има широк спектър от приложения в производствените процеси на дисплеи с плосък панел, светодиоди, джапанки, магнитни глави и прецизни сензори. Пропилен гликол метилов етер, като важен разтворител на фоторезиста, играе решаваща роля в работата и производствения процес на фоторезиста.
Фоторезистът, известен още като фоторезист, се състои от основни компоненти и разтворители. Основният разтворител, който понастоящем се използва за фоторезист, е пропилей гликол метил етер ацетат (PMA), но пропилен гликол метил етер (PGME) също се използва като разтворител или спомагателен разтворител в някои формулировки на фоторезисти. Основните компоненти на фоторезиста включват смола, мономери, фотоинициатори и добавки. Сред тях съдържанието на смола представлява около 50% до 60% от основните компоненти, а съдържанието на мономер представлява около 35% до 45%. Принципът на фоторезиста е да се използват източници на светлина като ултравиолетова светлина, ексимерен лазер, електронен лъч, йонен лъч, рентгенови -лъчи и т.н. за облъчване или излъчване, причинявайки промяна в неговата разтворимост, като по този начин се формира желаният модел върху силиконовата пластина.
2. Ролята на метиловия етер на пропилей гликол във фоторезиста
(1) Действие на разтворител:
Пропилен гликол метиловият етер се използва главно като разтворител във фоторезиста. Може да разтваря твърди фотосенсибилизатори и добавки, за да образува течна смес, осигуряваща добра течливост на фоторезиста. Тази течливост е от решаващо значение за равномерното покритие на фоторезиста върху повърхността на вафлата чрез технологията за центрофугиране.
(2) Регулиране на вискозитета:
Добавянето на метилов етер на пропилей гликол може да регулира вискозитета на фоторезиста, което го прави по-подходящ за специфични процеси на покритие. Правилното регулиране на вискозитета помага да се осигури равномерно разпределение на фоторезиста по време на процеса на нанасяне на покритие, като се избягва генерирането на мехурчета и дефекти.
(3) Подобряване на ефективността на покритието:
Пропилен гликол метил етер има умерена летливост и може бързо да се изпари по време на процеса на нанасяне на покритие, оставяйки равномерен и плътен фоторезистен филм. Това спомага за подобряване на адхезията и устойчивостта на корозия на фоторезиста.
(4) Влияние върху литографския ефект:
Някои физични и химични свойства на метиловия етер на пропилей гликол, като точка на кипене, разтворимост и повърхностно напрежение, могат да окажат известно влияние върху литографския ефект на фоторезиста. Например, подходяща точка на кипене може да гарантира, че фоторезистът няма да деформира модела по време на експониране поради бързото изпаряване на разтворителя.
3. Специфично приложение на пропилей гликол метилов етер в полупроводников фоторезист
(1) Фоторезист от висок клас:
Във фоторезистите от висок клас метиловият етер на пропилей гликол може да се използва като спомагателен разтворител или добавка. Тези фоторезисти обикновено се използват за производство на полупроводникови устройства с по-висока интеграция и по-сложни структури. Добавянето на пропилей гликол метилов етер може да подобри производителността на покритието и литографския ефект на фоторезиста, като по този начин увеличи добива и производителността на устройствата.
(2) ArF фоторезист:
ArF фоторезистът е един от ключовите материали, използвани за производство на полупроводникови устройства с технологични възли от 7nm и по-ниски.
Пропилен гликол метиловият етер може да се използва като разтворител или добавка във фоторезиста ArF за подобряване на неговите характеристики на покритие и литографски ефект. Фоторезистът ArF има изключително високи изисквания към разтворителя и някои свойства на метиловия етер на пропилей гликол го правят подходящ избор.
(3) Други видове фоторезист:
В допълнение към фоторезиста ArF, метиловият етер на пропилей гликол може да се използва и в други видове фоторезист, като фоторезист KrF, i-line фоторезист и т.н. Тези фоторезисти имат различни диапазони на приложение и изисквания към процеса в процеса на производство на полупроводници. Добавянето на метилов етер на пропилей гликол може да регулира производителността и ефекта на покритие на фоторезиста според специфичните нужди.
4. Влиянието на метиловия етер на пропилей гликол върху процеса на производство на полупроводници
(1) Подобряване на производствената ефективност:
Добавянето на метилов етер на пропилей гликол може да подобри производителността на покритието и литографския ефект на фоторезиста, като по този начин повишава ефективността на производството на полупроводникови устройства. Равномерното покритие и ясните литографски модели спомагат за намаляване на дефектите и честотата на преработване, съкращавайки производствените цикли.
(2) Намалете производствените разходи:
Чрез оптимизиране на формулировката и процеса на нанасяне на покритие на фоторезист, производствените разходи за полупроводникови устройства могат да бъдат намалени. Като един от важните компоненти на фоторезиста, рационалното използване на пропилей гликол метилов етер може да намали ненужните отпадъци и загуби, като по този начин намали производствените разходи.
(3) Подобряване на производителността на устройството:
Подобряването на производителността на фоторезиста чрез метилов етер на пропилей гликол спомага за подобряване на производителността на полупроводниковите устройства. Например по-равномерно покритие и по-ясни литографски модели могат да намалят паразитните параметри като съпротивление и капацитет на устройството и да подобрят производителността като скорост и консумация на енергия.
(4) Насърчаване на технологичното надграждане:
С непрекъснатото развитие на полупроводниковата технология, изискванията към фоторезиста също се увеличават. Въвеждането на нови разтворители и добавки като метилов етер на пропилей гликол може да насърчи надграждането и напредъка на фоторезистната технология, като внесе повече иновации и възможности за развитие в областта на производството на полупроводници.
Метоксипропанол, като един от важните компоненти на полупроводников фоторезист, има широки перспективи за приложение и предимства в процеса на производство на полупроводници. Чрез оптимизиране на формулировката и процеса на нанасяне на покритие на фоторезист, производствената ефективност и производителността на полупроводниковите устройства могат да бъдат подобрени и производствените разходи могат да бъдат намалени. Въпреки това трябва да се обърне достатъчно внимание на въпросите, свързани с околната среда и безопасността. В бъдеще, с непрекъснатото развитие на полупроводниковата технология и нарастващата осведоменост за опазването на околната среда, въвеждането на нови разтворители и добавки като метилов етер на пропилей гликол ще насърчи надграждането и напредъка на технологията за фоторезисти, внасяйки повече иновации и възможности за развитие в областта на производството на полупроводници. В същото време е необходимо също така да се засилят изследванията и надзорът върху опазването и безопасността на околната среда, за да се гарантира устойчивото развитие на процеса на производство на полупроводници и безопасността на персонала и околната среда.
Често задавани въпроси
За какво се използва метокси пропанол?
+
-
Метоксипропанолът се използва предимно в производството на пропилей гликол метил етер ацетат (известен още като PMA) и също така се използва в промишлени и търговски продукти, включително бои, лакове, мастила, синтетични смоли и каучукови лепила, както и почистващи препарати за автомобили и фурни.
Токсичен ли е метоксипропанолът?
+
-
1-Метокси-2-пропанолът е лек токсичен агент. Токсичността е по-ниска от тази на метиловите, етиловите и бутиловите етери на етиленгликола. Токсичните симптоми при вдишване на високи концентрации са гадене, повръщане и общ анестетичен ефект. При хората токсичните ефекти могат да се почувстват при излагане на ниво от 3000–4000 ppm.
За какво се използва метоксиизопропанол?
+
-
Основната употреба на метоксиизопропанол ев бои. Други имена за метоксиизопропанол включват 1-метокси-2-хидроксипропан, 1-метокси-2-пропанол и пропилей гликол монометилов етер (PGME).
За какво се използва метоксипропан?
+
-
Използван е метоксипропан, продаван под търговските имена Metopryl и Neothylкато алтернатива на диетиловия етерпоради по-голямата си сила. Използването му като анестетик оттогава е изместено от съвременните халогенирани етери, които са много по-малко запалими.
За какво се използва метоксифенол?
+
-
Използват се метоксифенолив производството на антиоксиданти и фармацевтични продукти. 2- Метоксифенолът се използва като отхрачващо средство и в синтетични аромати.
Вреден ли е пропанолът за хората?
+
-
обачедокладван е само един случай на смъртоносно отравяне с 1-пропанол. Най-вероятните остри ефекти на 1-пропанол при човека са алкохолна интоксикация и наркоза. Резултатите от проучвания върху животни показват, че 1-пропанолът е 2 - 4 пъти по-опияняващ от етанола. 1-Пропанолът може да дразни хидратираната кожа.
Какви са страничните ефекти на метоксиизопропанол?
+
-
Може да причини сънливост или световъртеж. H226 Запалими течност и пари. H336 Може да причини сънливост или световъртеж. P210 Да се пази от топлина, горещи повърхности, искри, открит пламък и други източници на запалване.
Популярни тагове: methoxy propanol cas 107-98-2, доставчици, производители, фабрика, търговия на едро, купуване, цена, насипно състояние, за продажба